跨尺度微納米測量?jì)x的開(kāi)發(fā)和應用重大儀器專(zhuān)項啟動(dòng)

　　3月20日,國家重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項“跨尺度微納米測量?jì)x的開(kāi)發(fā)和應用”項目首次工作會(huì )議在市計測院舉行。國家質(zhì)檢總局科技司副處長(cháng)謝正文主持會(huì )議，清華大學(xué)院士金國藩、同濟大學(xué)院士李同保、上海理工大學(xué)院士莊松林，國家質(zhì)檢總局科技司副司長(cháng)王越薇、市質(zhì)監局總工程師陸敏、市科委處長(cháng)過(guò)浩敏等專(zhuān)家和領(lǐng)導出席會(huì )議。

　　會(huì )上，項目總體組、技術(shù)專(zhuān)家組、項目監理組、用戶(hù)委員會(huì )和項目管理辦公室宣布成立。會(huì )議報告了項目及任務(wù)實(shí)施方案，介紹了項目管理辦法，并由專(zhuān)家現場(chǎng)進(jìn)行了技術(shù)點(diǎn)評和項目管理點(diǎn)評。

　　王越薇對項目推進(jìn)提出了具體工作要求。她要求項目所有單位本著(zhù)為國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展負責的精神，對項目予以高度重視。牽頭單位要圍繞總體目標，做細做實(shí)項目推進(jìn)計劃，項目各參與單位必須按時(shí)保質(zhì)完成分目標，確保項目順利推進(jìn)。她要求加強項目的過(guò)程管理，制定并落實(shí)各項管理制度，對項目推進(jìn)中出現的問(wèn)題，要協(xié)調解決，必要時(shí)召開(kāi)專(zhuān)題會(huì )議，并且做好包括基礎數據、過(guò)程記錄在內的檔案管理。她還要求加強項目的財務(wù)管理，牽頭單位和各參與單位都要重視財務(wù)管理，尤其要提高國家級重大項目的財務(wù)管理水平，確保項目經(jīng)費的使用符合財務(wù)管理要求。最后，王越薇長(cháng)還代表國家質(zhì)檢總局科技司表示，將盡全力做好項目實(shí)施單位與國家科技部的橋梁工作。

　　會(huì )上，陸敏要求市計測院勇于創(chuàng )新，集中力量確保項目順利實(shí)施，并通過(guò)科研項目促進(jìn)科研管理水平和能力的提高。

　　過(guò)浩敏感謝國家質(zhì)檢總局對項目的支持，肯定了重大專(zhuān)項對上海市創(chuàng )建具有國際影響力的科創(chuàng )中心的重要意義，并表示市科委將盡全力做好項目實(shí)施的地方配套服務(wù)工作。

　　“跨尺度微納米測量?jì)x的開(kāi)發(fā)與應用”項目以我國近年來(lái)多項創(chuàng )新技術(shù)及市計測院科研成果為基礎，突破我國在微納米檢測技術(shù)領(lǐng)域檢測方法集成開(kāi)發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，旨在攻克宏微聯(lián)動(dòng)多軸驅動(dòng)和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量?jì)x，并構建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業(yè)、微機電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計量技術(shù)支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術(shù)水平。

　　在國家質(zhì)檢總局的組織和指導下，項目經(jīng)過(guò)近兩年半時(shí)間的籌備和醞釀，于2014年10月獲得國家科技部批準立項。項目牽頭單位為上海計測工程設備監理有限公司，第一技術(shù)支撐單位為市計測院，16家參加單位涉及清華大學(xué)、上海交通大學(xué)、復旦大學(xué)、同濟大學(xué)等國內頂級高校，以及中國工程物理研究院、國家納米中心、中國科學(xué)院等國內頂尖研究機構。

　　項目研究過(guò)程中，將以產(chǎn)業(yè)需求為牽引，以實(shí)際應用為導向，注重基于國際先進(jìn)技術(shù)基礎上的集成創(chuàng )新和工程化、產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā)，著(zhù)力挖掘科研成果轉化的潛力，提高我國微納米測量科學(xué)儀器設備的自主創(chuàng )新能力和自我裝備水平，并促進(jìn)產(chǎn)、學(xué)、研、用的結合。項目完成后，將形成具有完全自主知識產(chǎn)權的儀器產(chǎn)品、附件、服務(wù)、標準等成果，能夠填補國內空白，挑戰國外儀器在相關(guān)領(lǐng)域的權威地位，促進(jìn)納米科技與經(jīng)濟緊密結合、科技創(chuàng )新與產(chǎn)業(yè)發(fā)展緊密融合，更樹(shù)立國家在納米制造、微電子、新型材料、超精密加工制造等領(lǐng)域的國際權威地位與話(huà)語(yǔ)權。