平面度誤差的測量

　　平面度誤差是指被測實(shí)際表面對其理想平面的變動(dòng)量。

　　平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線(xiàn)值距離即為平面度誤差值;或通過(guò)測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對高度差，再換算以線(xiàn)值表示的平面度誤差值。

　　平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：

　　1、平晶干涉法：用光學(xué)平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。

　　2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線(xiàn)方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準面分為三點(diǎn)法和對角線(xiàn)法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距最遠的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距最遠的三點(diǎn)調整到與標準平板等高;對角線(xiàn)法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對角線(xiàn)調整到兩兩等高。然后用測微計進(jìn)行測量，測微計在整個(gè)實(shí)際表面上測得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。

　　3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。

　　4、光束平面法：光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進(jìn)行測量，選擇實(shí)際表面上相距最遠的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。