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    天津大學(xué)擬819萬(wàn)元采購一套聚焦離子/電子雙束系統

    [2018/5/17]

      作為中國第一所現代大學(xué)，天津大學(xué)是211工程、985工程首批重點(diǎn)建設的大學(xué)。學(xué)�？蒲袑�(shí)力雄厚，始終聚焦國家重大戰略需求、聚焦世界科技發(fā)展前沿，取得了豐碩的成果。隨著(zhù)中國經(jīng)濟實(shí)力的提高，大學(xué)實(shí)驗室建設也走向了更加專(zhuān)業(yè)化、規�；�、完整化的道路。天津大學(xué)時(shí)刻注重提升學(xué)院的科研水平，積極完善儀器設備配置，培養更多優(yōu)秀人才。
     
    實(shí)驗室是現代科學(xué)的搖籃，是培養科技人才的孵化器，實(shí)驗室儀器的購買(mǎi)關(guān)系到大學(xué)師資力量和教學(xué)水平的提高。近日，天津大學(xué)精儀學(xué)院就聚焦離子/電子雙束系統項目進(jìn)行公開(kāi)招標。預算金額為819萬(wàn)元，共采購一套聚焦離子/電子雙束系統。
     
    項目名稱(chēng)：天津大學(xué)精儀學(xué)院聚焦離子/電子雙束系統
     
    項目編號：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)
     
    一、采購項目的名稱(chēng)、數量、簡(jiǎn)要規格描述或項目基本概況介紹：
     
    序號
    設備名稱(chēng)
    數量
    簡(jiǎn)要技術(shù)規格
    1
    聚焦離子/電子雙束系統
    1套
    具備離子束加工過(guò)程實(shí)時(shí)監控功能

      聚焦離子/電子雙束系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。在半導體行業(yè)有著(zhù)重要作用，可用來(lái)切割納米級結構，對光刻技術(shù)中的屏蔽板進(jìn)行修補，制作透射電鏡樣品，分離和分析集成電路的各個(gè)元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導電性等等。
     
      目前，我國的科研單位及高等院校在聚焦離子束曝光技術(shù)及其應用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成績(jì)。未來(lái)，隨著(zhù)我國微電子工業(yè)的發(fā)展，聚焦離子束曝光技術(shù)及其應用技術(shù)也將被提高到新的水平。天津大學(xué)精儀學(xué)院此次添置這一設備，將為學(xué)科研究工作順利開(kāi)展提供硬件支撐，意義重大。
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