“掃描探針顯微鏡漂移測量方法”國際標準發(fā)布

　　日前，由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)工程科學(xué)學(xué)院黃文浩教授主持制訂的國際標準“掃描探針顯微鏡漂移測量方法(ISO11039:2012)”已由國際標準化組織正式發(fā)布。

　　自20世紀80年代掃描探針顯微鏡(Scanning-probe microscopy，SPM)發(fā)明以來(lái)，由于其具有原子量級的分辨能力，極大地促進(jìn)了納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，并已逐步形成了一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。SPM的工作原理是通過(guò)微小探針在樣品表面進(jìn)行掃描，將探針與樣品表面間的相互作用轉換為表面形貌和特性圖像。由于掃描速率較慢，漂移現象在掃描過(guò)程中普遍存在，這制約了SPM在納米測量和納米加工方面的進(jìn)一步應用。

　　黃文浩教授近二十年來(lái)一直從事納米技術(shù)與精密儀器領(lǐng)域的研制工作。在2006年，他向國際標準化組織ISO/TC201(表面化學(xué)分析技術(shù)委員會(huì ))提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法標準”的提案，目的是要將SPM工作時(shí)納米/秒的漂移大小和方向測量出來(lái)，以規范這類(lèi)儀器的使用方法。2007年該提案正式立項，黃文浩教授被指定為該項目工作組的召集人。經(jīng)過(guò)四年多的努力，SPM漂移測量方法標準的最終草案于2011年經(jīng)全體成員國投票后順利通過(guò)，并于2012年正式發(fā)布。

　　該標準定義了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)，規定了SPM漂移速率的測量方法和測量程序，對儀器的功能和工作環(huán)境以及測量報告內容均作了嚴格要求。該標準為SPM儀器生產(chǎn)廠(chǎng)家制定了漂移速率的有效參數規格，并且能幫助用戶(hù)了解儀器的穩定性，以便設計有效的實(shí)驗。該標準不僅適用于基于SPM測量圖像的漂移速率評價(jià)方法，對其它納米級測量?jì)x器穩定性的評價(jià)也有著(zhù)重要參考價(jià)值。

　　相關(guān)研究工作受到國家自然科學(xué)基金、中科院知識創(chuàng )新工程重要方向性項目和科技部973項目資助。