微納技術(shù)計量標準和標準物質(zhì)研究項目啟動(dòng)

　　3月6日，“十二五”國家科技支撐計劃重點(diǎn)項目——微納技術(shù)計量標準和標準物質(zhì)研究啟動(dòng)會(huì )在中國計量科學(xué)研究院召開(kāi)。該項目是中國計量院“十二五”期間啟動(dòng)的第二個(gè)科技支撐計劃項目。

　　據了解，項目組在前期調研分析基礎上制定了微納結構特性量值溯源體系發(fā)展路線(xiàn)圖。據此，該項目將在微納幾何結構計量技術(shù)研究、微納結構化學(xué)特性計量技術(shù)研究、微納力學(xué)特性計量技術(shù)研究和微納計量?jì)x器的核心器件及部件的研制4個(gè)方向開(kāi)展研究。計劃建立基標準裝置6套、研制標準物質(zhì)7類(lèi)19~26種、研制計量用微納核心器件3類(lèi)和關(guān)鍵部件1套、建立測量系統4套與測量方法4項，初步建立較為完整的微納技術(shù)計量傳遞體系，項目成果水平將達到或超過(guò)美國等發(fā)達國家現有水平。

　　微納技術(shù)包括微納米材料、結構、器件、系統的設計制造及測量技術(shù)，涵蓋了微電子、MEMS/NEMS、納米技術(shù)等高新技術(shù)領(lǐng)域，在我國戰略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中具有重要作用。近年來(lái)，微納技術(shù)的發(fā)展對計量學(xué)提出了嚴峻的挑戰，高準確度的微納結構特性計量基標準、標準物質(zhì)以及微納器件和部件是保證微納技術(shù)領(lǐng)域快速可持續發(fā)展的重要技術(shù)支撐。當前，我國微納技術(shù)研究成果已與先進(jìn)國家相當，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程顯著(zhù)加快，不少產(chǎn)品的產(chǎn)量位居世界前列。但高端產(chǎn)品短缺數量少、品質(zhì)差，缺乏市場(chǎng)競爭力，高水平的基礎研究成果難以產(chǎn)業(yè)化。究其原因，主要就是微納計量技術(shù)的研究嚴重滯后、計量基標準和標準物質(zhì)嚴重匱乏，核心技術(shù)嚴重落后，難以支撐我國微納技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展。