無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級示例

    目前，潔凈車(chē)間已廣泛應用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內容、指標均不會(huì )相同。所謂無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境控制的內容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無(wú)塵車(chē)間的設計不僅要求對室內的空氣進(jìn)行凈化達到規定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無(wú)塵車(chē)間的建造用材料、裝飾方式不當帶來(lái)的污染，有的無(wú)塵車(chē)間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

　　1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

　　集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

　　舉例說(shuō)明：

　　例一、某廠(chǎng)集成電路前工序潔凈廠(chǎng)房，無(wú)塵車(chē)間設計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

　　無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級要求：

　　光刻、勻膠區 ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 5級

　　例二、某廠(chǎng)集成電路前工序潔凈廠(chǎng)房，無(wú)塵車(chē)間設計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

　　無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級要求：

　　光刻、勻膠區 ISO 3級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 4級

　　離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 6級

　　2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　隨著(zhù)信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無(wú)塵車(chē)間內工藝生產(chǎn)所需的各類(lèi)高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內外還沒(méi)有統一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統一規定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠(chǎng)家依據其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及無(wú)塵車(chē)間運行的實(shí)踐經(jīng)驗確定設計建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級。

　　舉例說(shuō)明：

　　例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

　　各無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um

　　清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級

　　顯影、刻蝕間 ISO 5級

　　成盒間 ISO 5級

　　濺射、CVD間 ISO 6級

　　例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房、無(wú)塵車(chē)間控制微粒粒徑0.5um

　　各無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級要求

　　涂布頭 ISO 5級

　　備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級

　　組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級

　　砂磨、化驗間和配件間 ISO 8級

　　成品庫和部分原料庫 準潔凈間

　　3、精密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

　　例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間

　　無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級要求

　　裝配間 ISO 6級

　　軸承加工間 ISO 5級

　　例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間

　　流延機頭部，涂布機頭部 ISO 5級

　　涂布室，流延機室 ISO 6級