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    高溫真空氣氛爐的使用注意事項

    [2016/6/22]

    高溫真空氣氛爐除了做實(shí)驗外,不要停留在高溫爐管區。實(shí)驗工作完畢時(shí),若無(wú)人繼續使用,請關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng), 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關(guān)掉。

    1、高溫真空氣氛爐處理HF時(shí),請戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處。

    2、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。

    3、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

    4、氰化鉀(KCN)不可與酸類(lèi)混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

    5、一旦發(fā)現有妨礙安全之事物時(shí),請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

    6、高溫真空氣氛爐請節約純水用量。

    7、破晶片、濾紙、棉花棒等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。

    8、長(cháng)短推桿之前端,在還沒(méi)使用到時(shí),請朝上以免污染。

    9、晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boatholder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。


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