“萬(wàn)級“的超凈車(chē)間比“千級“的要干凈是嗎

　　(一)超凈間之定義

　　超凈間(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。

　　「超凈間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　超凈間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為「超凈間」。

　　世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

　　209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，超凈間等級以`M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

　　美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

　　(三)超凈間控管之項目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

　　3. 溫度和濕度之控制。

　　4. 壓力之調節。

　　5. 有害氣體之排除。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁干擾預防。

　　9. 安全因素之考慮。

　　10. 節能之考量。

　　(四)超凈間之分類(lèi)

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高超凈間等級。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于超凈間等級需定較高之環(huán)境使用，一般其超凈間等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。

　　缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛�不會(huì )影響其它工作區域。

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

　　3.復合式(Mixed Type)：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。

　　此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易; B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝局部超凈間(Clean Spot)：將超凈間等級10,000~100,000之亂流超凈間內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之超凈間空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。

　　(五)超凈間氣流之流動(dòng)

　　超凈間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴散受到氣流的支配。

　　超凈間系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而超凈間內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

　　超凈間內的氣流是左右超凈間性能的重要因素，一般超凈間的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區域，易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí)，能以最適當的風(fēng)速供應，以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。

　　另一方面欲達到超凈間潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現高潔凈度事實(shí)上很困難。

　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般超凈間，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

　　影響超凈間的氣流因素很多，如制程設備、人員、超凈間組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于超凈間空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

　　超凈間內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

　　(六)超凈間之構成

　　超凈間的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的超凈間：

　　(1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

　　(2)空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶(hù)、門(mén)。

　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

　　超凈間之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：

　　A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;

　　B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子;

　　C.吸濕性小;

　　D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高;

　　超凈間按用途分類(lèi)(可分為兩大類(lèi))

　　(1)、工業(yè)超凈間——以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

　　(2)、生物超凈間，主要控制有生命微粒(細菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物超凈間，主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)超凈間。例：制藥工業(yè)、醫院(手術(shù)室、無(wú)菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。

　　B、 生物學(xué)安全超凈間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)

　　第8樓亂流超凈間的原理和特性

　　1、定義：亂流超凈間的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的超凈間.

　　2、原理：亂流超凈間靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的(亂流超凈間一般設計在千級以上至30萬(wàn)級凈化級別)。

　　3、特性：亂流超凈間是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多，凈化級別越高)

　　(1)、自?xún)魰r(shí)間：是指超凈間按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到超凈間，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。 1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計算)

　　(2)、換氣次數(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規范:15次/小時(shí))

　　六、超凈間(凈化空調)的結構組成

　　(1)、組合式凈化空調機組

　　(2)、潔凈送風(fēng)管道

　　(3)、潔凈回風(fēng)管道

　　(4)、送風(fēng)靜壓箱

　　(5)、高效過(guò)濾器

　　(6)、多孔擴散板

　　(7)、超凈間吊頂

　　(8)、超凈間隔斷

　　(9)、百葉回風(fēng)口

　　(10)、新風(fēng)口

　　污染源知識

　　1、發(fā)塵量

　　超凈間內的發(fā)塵量，來(lái)自設備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除，不流入室內;產(chǎn)品，材料等在運送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來(lái)自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對量也不斷減少。

　　A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

　　B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少;

　　C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達到靜止時(shí)間3-7倍;

　　D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

　　室內維護結構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當。

　　2、發(fā)菌量

　　分析國外試驗資料可以認為：

　　(1) 超凈間內當工作人員穿無(wú)菌服時(shí)：

　　靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人

　　軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人

　　快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人

　　(2) 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人

　　噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人

　　(3) 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人

　　(4) 無(wú)口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

　　(5) 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據國內事例：

　　(6) 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人

　　所以，可知超凈間內無(wú)菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)300個(gè)/ min.人，動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)1000個(gè)/ min/人，以此作為計算依據是可行的。