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    超純水設備、電子超純水一般工藝流程

    [2011/5/13]

      電子超純水一般工藝流程:

      (水質(zhì)符合美國ASTM標準,電子部超純水水質(zhì)標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)

      典型工藝2:原水→預處理→反滲透→EDI→精密過(guò)濾→用水點(diǎn)

      ·預處理-反滲透-中間水箱-水泵-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對象

      ·預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對象

      ·預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對象

      ·預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對象

      應用場(chǎng)合:

      ·半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

      ·超純材料和超純化學(xué)試劑;

      ·實(shí)驗室和中試車(chē)間

      ·汽車(chē)、家電表面拋光處理;

      ·其他高科技精微產(chǎn)品。

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