北京量子信息科學(xué)研究院科研儀器設備電子束曝光機單一來(lái)源采購公示

一、項目信息

采購人：北京量子信息科學(xué)研究院

項目名稱(chēng)：科研儀器設備電子束曝光機

擬采購的貨物或者服務(wù)的說(shuō)明：

電子束曝光機1套

擬采購的貨物或服務(wù)的預算金額：1050.0000000 萬(wàn)元（人民幣）

采用單一來(lái)源采購方式的原因及說(shuō)明:

電子束曝光是微納米加工的核心技術(shù)。為了實(shí)現工藝水平從傳統的微米量級，進(jìn)入到亞微米和納米尺度，構造納米器件并從納米尺度研究新型納米器件和量子現象。此次擬采購的電子束曝光機須滿(mǎn)足以下參數要求：
加速電壓不低于50 kV；圖形發(fā)生器掃描頻率不低于50 MHz；最小線(xiàn)寬≤50 nm；500 μm寫(xiě)場(chǎng)下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm寫(xiě)場(chǎng)下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。
根據全球調研，能滿(mǎn)足上述需求的廠(chǎng)家有德國的Raith以及日本的JEOL、Elionix、Crestec，但日本已禁止出口該類(lèi)產(chǎn)品到中國，無(wú)法進(jìn)行采購，故只有德國Raith能滿(mǎn)足需求且愿意供貨。
銳時(shí)科技（北京）有限公司是廠(chǎng)家Raith在中國的分公司，且是國內唯一銷(xiāo)售渠道。因此申請單一來(lái)源采購。
綜上，特申請單一來(lái)源采購方式，通過(guò)銳時(shí)科技（北京）有限公司購買(mǎi)所需的1套電子束曝光機。

二、擬定供應商信息

名稱(chēng)：銳時(shí)科技（北京）有限公司

地址：北京市東城區北三環(huán)東路36號1號樓7層A709房間

三、公示期限

2023年04月06日  至  2023年04月13日

四、其他補充事宜：

專(zhuān)家論證意見(jiàn)及專(zhuān)家姓名、工作單位、職稱(chēng)等信息詳見(jiàn)附件。
由于系統原因，其他未盡事宜及公告顯示內容與附件不同的，以附件為準。
本公示在中國政府采購網(wǎng)發(fā)布。

五、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián)系人：北京量子信息科學(xué)研究院     

地址：北京市海淀區西北旺東路10號院西區3號樓        

聯(lián)系方式：010-83057588 轉 8052      

2.財政部門(mén)

聯(lián)系人：北京市財政局采購處

聯(lián)系地址：北京市通州區承安路3號

聯(lián)系電話(huà)：010-55592405

3.采購代理機構信息

名 稱(chēng)：華誠博遠工程咨詢(xún)有限公司            

地 址：北京市西城區宣武門(mén)外大街10號莊勝廣場(chǎng)中央辦公樓北翼19層            

聯(lián)系方式：于曼，15811596673